隨著使用要求和工藝條件的發(fā)展，我們要求產(chǎn)品的尺寸越做越小，集成度越來越高。觀察和測量的范圍也從毫米級變成微米級，現(xiàn)在更是演變到納米級。傳統(tǒng)的探針接觸式表面粗糙度儀漸漸滿足不了最新的測量需求。

今天為您帶來的全新的3D立體形貌測量儀，該技術(shù)顛覆傳統(tǒng)， 將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，帶您感受高清晰的納米世界。

彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場內(nèi)觀察到納米級的細(xì)節(jié)。掃描時用紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，獲得三張單色的圖像，最后還原成高分瀕率彩色圖像和高質(zhì)量的彩色表面紋理圖。

共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。 它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.09 μm。利用它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級的縱向分辨率

多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的最大亮點是快速 (mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

太陽能

鏡頭

測量視頻

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